·CMP 연마 패드
상품명:
CMP 연마 패드
제품 모델: JH5900
제품 설명:
CMP 패드는 특수 공정으로 합성된 PET 복합 탄소 필름으로 만들어집니다.완제품의 표면은 매끄럽고 평평하며 긁힘에 강하고 산 및 알칼리에 강합니다.영구 표면 저항 값은 1K Ω 미만으로 균일하고 안정적입니다.연마 중 축적된 분말을 빠르게 분산시킬 수 있습니다.기존의 코팅 방식으로 제작된 폴리싱 패드에 비해 수명이 2.5~5배 더 깁니다.
신청:
중고 웨이퍼 연마 공정.
주요 기술 매개변수:
일반 저항(Ω/Sq)
| 두께(μm)
| 폭(mm)
| 길이(m)
| 사용 온도(℃)
|
≤ 1K | 40~50 | 5~520 | 맞춤형 | -100~260 |